上海半导体装备材料产业投资基金成立于2018年，规模100亿元，重点围绕集成电路装备材料产业开展投资，通过市场化运作及专业化管理，促进上海乃至全国集成电路装备材料产业的发展。

李勇军　朱旭东　陈孟钊　杜洋　袁以沛

上海半导体装备材料基金为上海市扶持集成电路装备材料产业的基金，也是国家集成电路产业投资基金的子基金，基金总金额100亿元，首期规模50亿元，聚焦集成电路装备和材料领域、半导体产业链上下游企业及其他相关领域，面向全球开展投资。